液壓伺服閥是如何工作的？

彈簧對中式兩級電液伺服閥

彈簧對中式伺服閥是早期伺服閥的結構型式，其結構原理如圖5-14所示。它的第一級是雙噴嘴擋板閥，第二級是滑閥，閥芯兩端各有一根對中彈簧管。無控制電流輸入時，閥芯在對中彈簧作用下處于中位。當有控制電流輸入時，對中彈簧力與噴嘴擋板閥輸出的液壓力相平衡，使閥芯取得一個相應的位移，輸出相應的流量。

這種伺服閥屬于開環控制，其性能受溫度、壓力及閥內部結構參數變化的影響較大；銜鐵及擋板的位移都較大，對力矩馬達的線性要求較高；對中彈簧要求體積小、剛度大、抗疲勞好，因此制造困難；兩端對中彈簧由于制造和安裝上的誤差，易對閥芯產生側向卡緊力，增加閥芯摩擦力，使閥的滯環增大，分辨率降低。

射流管式兩級電液伺服閥

射流管由力矩馬達帶動偏轉。射流管焊接于銜鐵上，并由薄壁彈簧片支撐。液壓油通過柔性的供壓管進入射流管，從射流管噴嘴噴射出的液壓油進入與滑閥兩端控制腔別分相通的兩個接收孔中，推動閥芯移動。射流管的側面裝有彈簧板及反饋彈簧絲，其末端插入閥芯中間的小槽內，閥芯移動推動反饋彈簧絲，構成對力矩馬達的力反饋。力矩馬達借助于薄壁彈簧片實現對液壓部分的密封隔離。

射流管式伺服閥的優點是抗污染能力強。缺點是動態響應較慢，特性不易預測，力矩馬達結構及工藝復雜，細長的射流管及柔性供壓管易出現結構諧振。

偏轉板射流式兩級電液伺服閥

它由力矩馬達、偏轉板射流放大器和滑閥組成。滑閥位移通過反饋桿產生機械力矩反饋到力矩馬達銜鐵組件。

偏轉板射流放大器由射流盤和偏轉板組成，射流盤上開有一個射流噴嘴和兩個對稱的接收口。射流噴嘴與液壓能源相通，兩個接收口分別與第二級滑閥兩端的控制腔相連。偏轉板上開有V型導流窗口，其上端與銜鐵固連，并由彈簧管支撐，其下端通過反饋桿末端的小球插入滑閥閥芯中間的小槽中。

當偏轉板處于射流盤中間位置時，由噴嘴射出的射流被兩個接收口均等地接收，在滑閥兩端產生的恢復壓力相等，閥芯不動。當偏轉板偏轉時，兩個接收口內的恢復壓力不等，在滑閥兩端產生的壓差控制閥芯運動。閥芯位移又帶動反饋桿產生變形，以力矩的形式反饋到力矩馬達的銜鐵上，與銜鐵產生的電磁力矩相平衡。

偏轉板射流式伺服閥結構簡單、工作可靠，具有射流管式伺服閥類似的優缺點。但它可動的偏轉板重量輕，因而動態響應要快些。

壓力-流量伺服閥

滑閥輸出的壓力經反饋通道引入滑閥兩端的彈簧腔，形成負載壓力負反饋。在穩態情況下，如果忽略閥芯所受的穩態液動力，作用在閥芯上的彈簧力與反饋液壓力之合力與控制液壓力相平衡

當負載壓力pL增大時，除閥口壓降減小使輸出流量減小外，還由閥開口量減小而使輸出流量進一步減小。因此，負載流量曲線的斜率比流量伺服閥大，壓力-流量伺服閥的線性很好。應當指出，在位置反饋伺服閥的基礎上引入負載壓力反饋，都可以構成壓力-流量伺服閥。另外，負載壓力除反饋到功率級滑閥外，也可以通過反饋噴嘴將負載壓力反饋到擋板，或通過壓力傳感器反饋到伺服放大器，其作用是一樣的。

壓力-流量伺服閥的流量-壓力系數大，但剛性差。通常用在負載慣性大、外負載力小或帶諧振負載的伺服系統。

動壓反饋伺服閥

壓力-流量伺服閥雖然增加了系統的阻尼，但降低了系統的靜剛度。為了克服這個缺點，出現了動壓反饋伺服閥，與壓力-流量伺服閥相比，它增加了由彈簧活塞和液阻（固定節流孔）所組成的壓力微分網絡，負載壓力通過壓力微分網絡反饋到滑閥。此閥在動態時，具有壓力-流量伺服閥的特性，在穩態時具有流量伺服閥的特性。

MOOG伺服閥常用型號：

MOOG伺服閥D634-341C

MOOG伺服閥D661-4598C     G45HOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥072-558A

MOOG伺服閥D663-Z4307K  P02JONF6VSX2-A

MOOG伺服閥D662-4337K P02HAMF6VSX2-A      

MOOG伺服閥D662-4065  D01HXBF6NSF2-A        

MOOG伺服閥D661-4059 P80HABF6VSX2-B

MOOG伺服閥D661-4334C     G60KOAA5VSS2HA  

MOOG伺服閥D661-4406C     G23JOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D661-4313C     G35KOAA6VEA2HE  

MOOG伺服閥D663Z4322K   P02JONF6VSY2-A     

MOOG伺服閥D661-4576C              G60KXAO5NSM2HA

MOOG伺服閥D664-4383K P05JAMO6VSX2-A      

MOOG伺服閥D661-4451C     G60HXAO6NSF2HA  

MOOG伺服閥D791-4025 S25JOQA6VSX2-O

MOOG伺服閥D634-R40K02M0NSM2

MOOG伺服閥D662Z4378K P01JXMF6VEA2-J       

MOOG伺服閥D662-Z4325N P02HXMM6NEX2-E 

MOOG伺服閥D662Z4384K P01JAMF6VSX2-A      

MOOG伺服閥D664-4380K

MOOG伺服閥D662-4709 D02HYBW5NSX4-O       

MOOG伺服閥D633-308B-R08KO1M0NSM2          

MOOG伺服閥D673-0001-0000     

MOOG伺服閥D633-7414      

MOOG伺服閥D661－4539C

MOOG伺服閥G631-3002B      

MOOG伺服閥D792-4005      

MOOG伺服閥D792-4007      

MOOG伺服閥D661-4697C G15JOAA5VSX2HA     

MOOG伺服閥D661-6460C/G35HOAA4VSX2

MOOG伺服閥G761-3002B

MOOG伺服閥D663-5002   L03HYAO6NSA0-P       

MOOG伺服閥D661-4506C/G35KOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D662Z4336K P01JXMF6VSX2-A       

MOOG伺服閥D634-319-C-24V

MOOG伺服閥D791-4038 S16JXQB6VSX2-B